近日，浙江省计量科学研究院“扫描探针显微镜校准装置”通过了专家组现场考核，建立了全国首个纳米计量领域社会公用计量标准。

目前，浙江省计量科学研究院已具备微纳几何结构关键尺寸的计量校准能力，可为半导体企业、精密加工中心的关键尺寸测量提供量值溯源至国家基准的途径，更加全面准确地为半导体、微电子行业的纳米尺度关键尺寸检测提供技术保障。

近年来，浙江省计量科学研究院为了加强质量技术基础及体系建立, 服务浙江省经济转型升级，围绕“三强一制造”中心工作，不断在高端装备、医疗卫生、大气治理、新材料等领域建立社会公用计量标准，满足新产业领域发展的需要。

（来源:浙江省计量科学研究院）